半導体分野では、高純度処理をした黒鉛材が必要とされており、シリコン単結晶引上炉用の部材(ルツボ、ヒーター)などは不純物を嫌います。一般的な人造黒鉛素自体は99.9 %(代表値でCIP材約800ppm以下)は不純物のない素材となっております。
弊社では、半導体関連部材・化合物半導体の製造工程、光ファイバー、熱処理用サセプター、ダミーウ工ハー、薄膜太陽電池の製造装置部材なども、製造しております。
高純度カーボン発熱体
高シリコン単結晶インゴットを製造する際に使います。
シリコンなどのインゴット製造工程では不純物の混入を嫌います。グラファイトは高純度処理をする事により灰分を7～8PPM、
超高純度鉛理では灰分を2～3PPMまで下げる事がで出来ます。黒鉛(カーボングラファイト)は半導体製造装置の様々な部品として活躍しております。
シリコン引上用ルツボ
シリコン単結晶インゴッドを製造する際に高純度黒鉛ルツボが使用されます。
シリコンの材料を直接溶かす石英硝子のルツボは高温で軟化するため、形状を保持する外型としてカーボンルツボが使用されます。
半導体製造装置治具
半導体製造装置治具は半導体のシリコンの生産性を上げる為、大型化されたり、新方法で製作したりと、日々、製造方法の研究が進められております。
小ロット・多品種・短納期対応をメインにしており、試作-検討段階の製品のお手伝いをさせて頂いております。
カーボンスパッタリングターゲット
光ディスクやハードディスクには、情報を記録している有機色素記録層の上に反射膜が施されています。反射膜は金・銀・アルミニウムなどの反射率の高い金属を材料とし、スパッタリングという製造方法で被膜を形成します。その際、高純度カーボンを使用したスパッタリングターゲットが使われています。
固体高分子形燃料電池などのセパレータ
燃料電池用途ではガス(液体)の不透過性が重要視され、樹脂含浸を施じたカーボン材料がよく使われております。黒鉛(カーボングラファイト)の利点である高電気伝導性・高熱伝導性を生かした素材の選定や形状設計など、日々、研究開発が進められております。
太陽電池製造用部品
太陽電池の主流は結晶シリコン系太陽電池です。他にもガラス系の太陽電池もあります。太陽電池用の単結晶・多結晶シリコンインゴットの製造部品に黒鉛(カーボングラファイト)が使用されております。
太陽光を活用した工コ製品はこれからも益々研究・開発されていきます。
液晶製造用部品
液晶パネル製造用の、ガラス運搬用のローラーなどの液晶製造装置の部品に、黒鉛(カーボングラファイト)は使われております。
皆様の使われておりますテレビは、大型画面化が進んでおります。そういった仕様の変化に対応する為、カーボンの部品も様々な検討がされております。
光ファイバー製造用部品
光ファイバーの製造用部品には、石英ガラスを溶かす為の、ヒーター・ルツボも使われております。
ガラスチューブ製造の際にも、高純度処理が施された黒鉛(カーボングラファイト)が使用されております。こちらも、試作・検討段階から、様々と手掛けております
